728x90 노광장비5 "EUV 노광기가 다 아니다"…없어서 못파는 EUV 장비 쟁탈전 "EUV 노광기가 다 아니다"…없어서 못파는 EUV 장비 쟁탈전 마스크 제조 '라이터'와 검사 장비 'APMI' 5나노 이하 초미세 칩 생산성·품질 좌우 오스트리아 IMS·일본 레이저텍 독점 연간 10대 미만 생산…물량 확보 치열 ASML이 독점 공급하는 극자외선(EUV) 노광기 외에 초미세 반도체 공정에 필요한 장비를 선점하기 위한 삼성전자와 TSMC 간 경쟁이 치열해지고 있다. 마스크 제조를 위한 라이터(writer)와 검사 장비 'APMI'가 대표적이다. 이들 장비는 5나노(㎚) 이하 칩 공정 물량이 늘어났을 때 생산성과 품질을 결정지을 핵심 장비들이다. 또 모두 독점 공급 체제다. 업계에 따르면 EUV 초미세 공정에 필요한 첨단 장비들을 입도선매하기 위해 삼성전자, TSMC 등 반도체 제조.. 2022. 2. 7. 이전 1 2 다음 728x90
